Tempat asal:
Cina
Nama merek:
KACISE
Sertifikasi:
CE
Nomor model:
KGD-MQ-537
Sensor Gas Inframerah KGD-MQ-537 menggunakan teknologi Inframerah Non-Dispersif (NDIR) untuk mengukur gas secara akurat termasuk SiF4, CF4, SF6, NF3, dan CO2 dalam aplikasi semikonduktor. Dirancang dengan kompatibilitas untuk dimensi peralatan umum, flensa, dan protokol komunikasi, sensor ini ideal untuk deteksi titik akhir dalam proses pengendapan dan pembersihan semikonduktor, serta deteksi terminal untuk pembersihan ruang, membantu mengurangi waktu pembersihan, memangkas biaya, dan meningkatkan produksi.
| Parameter | Detail |
|---|---|
| Prinsip Deteksi | NDIR |
| Gas yang Terdeteksi | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Rentang Pengukuran | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| Pengulangan | ±0,5% |
| Linearitas | ±1% FS |
| Batas Deteksi | 1ppm |
Kirim pertanyaan Anda langsung ke kami