Tempat asal:
Cina
Nama merek:
KACISE
Sertifikasi:
CE
Nomor model:
KGD-MQ-537
Atribut | Nilai |
---|---|
Prinsip Deteksi | NDIR |
Gas yang Ditemukan | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Jangkauan Pengukuran | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Kemungkinan diulang | ± 0,5% |
Linearitas | ± 1% F.S. |
Batas Deteksi | 1 ppm |
Sensor gas inframerah KGD - MQ - 537 didasarkan pada teknologi Non-Dispersive Infrared (NDIR).dan CO2 yang dihasilkan dalam aplikasi semikonduktor. Ini kompatibel dengan dimensi, flange, dan protokol komunikasi yang telah ditetapkan sebelumnya di dalam peralatan.serta deteksi terminal untuk pembersihan ruang, membantu mengurangi waktu pembersihan, mengurangi biaya, dan meningkatkan produksi.
Parameter | Rincian |
---|---|
Prinsip Deteksi | NDIR |
Gas yang Ditemukan | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Jangkauan Pengukuran | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Kemungkinan diulang | ± 0,5% |
Linearitas | ± 1% F.S. |
Batas Deteksi | 1 ppm |
Kirim pertanyaan Anda langsung ke kami